„Vékonyréteg leválasztás” változatai közötti eltérés

A Fizipedia wikiből
6. sor: 6. sor:
  
 
=== Fizikai elméleti alapok ===
 
=== Fizikai elméleti alapok ===
−
 
 
==== Egyensúlyi telített gőznyomás ====
 
==== Egyensúlyi telített gőznyomás ====
 
<wlatex>
 
<wlatex>

A lap 2013. március 24., 12:30-kori változata

SZERKESZTÉS ALATT!!

Vákuumpárologtatás / vákuumgőzölés

A vákuumpárologtatás - vékonyrétegek előállítására szolgáló - fizikai gőzfázisú leválasztási eljárás (PVD, Physical Vapor Deposition). A leválasztani kívánt anyagot vákuumtérben - magas hőmérsékletre hevítve - elpárologtatják, majd az a bevonni kívánt munkadarab / hordozó / szubsztrát felületére lekondenzálva kialakítja a vékonyréteget.

Fizikai elméleti alapok

Egyensúlyi telített gőznyomás


Egy zárt rendszerben 0 K-nél magasabb, állandó T hőmérsékleten az anyag felületéről kilépő és a felületre visszatérő atomok dinamikus egyensúlyban vannak, melyet az adott hőmérséklethez tartozó P egyensúlyi telített gőznyomással (tenzióval) jellemezhetünk. Az egykomponensű rendszer két fázisának egyensúlyi feltételét a Clausius-Clapeyron egyenlet adja meg:

Sablon:NumBlk

ahol \setbox0\hbox{$L_m$}% \message{//depth:\the\dp0//}% \box0% a fázisátalakuláshoz szükséges moláris hőmennyiség, \setbox0\hbox{${\Delta}V_m$}% \message{//depth:\the\dp0//}% \box0% pedig a két fázis móltérfogatának különbsége \setbox0\hbox{$(V_m^I-V_m^{II})$}% \message{//depth:\the\dp0//}% \box0%.

Szilárd-gőz fázisátalakulás esetén a szilárd fázis moláris térfogata \setbox0\hbox{$(V_m^{II})$}% \message{//depth:\the\dp0//}% \box0% elhanyagolható a gőz fázis moláris térfogata \setbox0\hbox{$(V_m^I)$}% \message{//depth:\the\dp0//}% \box0% mellett, így a \setbox0\hbox{${\Delta}V_m{\cong}V_m^I=RT/P$}% \message{//depth:\the\dp0//}% \box0% (R: az egyetemes gázállandó) összefüggést az Sablon:EquationNote egyenletbe behelyettesítve az alábbi összefüggést kapjuk:




A lap eredeti címe: „https://fizipedia.bme.hu/index.php?title=Vékonyréteg_leválasztás&oldid=8065”